精密省エネルギーレーザー用途向けの回折光学素子

回折ビームシェイパーは、空間的にコヒーレントなレーザーの強度と位相のプロファイルを修正できます。入力ビームの位相を同調させることにより、ほとんど制約なしに出力ビームの強度プロファイルを実現できます。最も重要な点はスペックルが出ないことです。そのためには、入力ビームと位相プロファイルの正確かつ信頼できる知識が必要になります。

レーザー加工、リソグラフィーやホログラフィック照明、生体医療機器や光学センサーなどの用途でお客様のシステムの性能と全体的な効率を最適化することができます。

弊社の高性能ビームシェイパーを使用すると均一なトップハット型の円形、長方形、または線形の強度プロファイルを作成できるだけでなく、お客様固有の要件と用途に合わせたあらゆる分布と形状を実現できます。弊社のビームシェイパーはシングルモード (TEM00) 入力ビームに完全に対応するよう設計されています。また、弊社ではマルチモードレーザーをマルチモードビームに統合できる反射・回折ディフューザーとホモジナイザーも製造しています。これらは DUV から LWIR までのスペクトル範囲に対応します。

固体レーザー、ファイバーレーザー、ダイオードレーザー、ガスレーザー、二倍波・三倍波レーザーなどのシングルモードレーザーは、ガウシアンビームプロファイルが特徴です。これらのガウシアンプロファイルを均一な光を使う用途に適した状態にすることは困難です。

Jenoptik の回折ラインジェネレーターは、単一の表面素子を使用し、他のオプティクスを使うことなく、ガウシアンレーザービームを均一な一次元トップハット型のレーザービームに変換します。均一でスペックルのないラインは、半導体や薄膜のアニーリングや再結晶化などの材料加工用途に最適です。このタイプの照射は、通常の入射角または傾きの大きい平面でもラインを作成できるように設計することができます。

Jenoptik の回折ビームスプリッタ―は、1 本の入射レーザービームを重なり合わない複数のビームに効率的に分岐します。ビームの間隔、強度比および対称分布は自由に選択することが可能で、ビームスプリッタ―の周期的な微細構造は非常に正確かつ規則正しい周期性を持って構築されています。同時に、入射ビームの広がり角度、直径および偏光は変わりません

その結果、レーザーより放たれたエネルギーはいくつものチャンネル処理により良く分散され、効率性とパフォーマンスの両方を高めます。このように、弊社の高精度回折マイクロオプティクスは、色分解、外科手術用の材料加工のほか度量衡などを必要とする　LIDAR　の用途に最適です。そのほかにも、固定された分離角度や出力比により例えば材料への熱伝導が最適化されるの複数のレーザービームを使用したレーザー溶接においても優れた結果を発揮できます。

お客様の特定の用途に対しても、Jenoptik は　s 偏光と p 偏光を分け、強度比を調節することが可能な偏光ビームスプリッタ―も提供します。

Jenoptik の回折ディフューザーを使用すると、単色レーザービームを吸収し、可能なあらゆるパターンに光を散乱させることができます。

ディフューザーは、回折ビームスプリッターと同様に、入力ビームを多数の出力ビームに変換し、その角度および強度を制御することができます。しかし、ビームスプリッターとは異なり、これらのビームは重なり合って、干渉し合い、新しい均質化な分布が生成されます。

従って、回折ディフューザーは、反射ホモジナイザーのように、特定の形状のレーザービームが必要なのレーザー用途に最適です。また、この種類のディフューザーでは、光源からの規定の距離で均一な性能を実現することができます。光学素子は3～5% の均一性を実現し、それにより配光形状は円形や四角形など自由に形を選択することができます。

弊社の回折ディフューザーは、厳密に制御されるビーム角度が特徴で、そのためお客様には特別に高度な効率性をお約束できます。ディフューザーはアライメントによる影響を受けにくく、入力ビームの極性に影響を及ぼしません。そのため、この回折ディフューザーは広範囲に及ぶ面積のスピード感知が求められる用途、遠隔感知の分野、または LIDAR/LADAR に最適です。これらのディフューザーは、DUV から赤外線までのスペクトル範囲に対応します。

Jenoptik　の回折ガウスジェネレーターは、特殊なタイプの回折ディフューザーで、エキシマー、窒素、ダイオードレーザーなどの高出力レーザーに最適です。これらのジェネレーターは、非ガウシアンレーザービームを正確に定義された、再現可能なガウシアン遠視野プロファイルに変換します。

このように強度のプロファイルは、材料加工や医療におけるレーザー治療、印刷技術や計測システムなど、重なり合うレーザービーム処理に最適です。弊社は、UR から VIR　の範囲の波長で回折光学素子　(DOE) をお客様に提供します。

多重極瞳光は、マスク投影システムで最大の解像度を実現するために必要です。Jenoptik の回折光学素子 (DOE) は、それぞれの極内または両極間で高精度かつ均一な分布を効率的に生成します。

弊社の回折素子には高品質の材料を使用しております。そのため、強力な UV レーザー照射を受ける場合でも長寿命を実現します。