半導体装置用製品およびシステムのパートナー

Jenoptikは、半導体製造装置の個々のモジュールおよび完全なシステムを開発、製造しています。当社の技術力の中核分野には高精度光学 および 光学薄膜素子およびビーム成形用マイクロオプティクスなどがあります。当社は深紫外線(DUV)から遠赤外線(FIR)まで 波長域全体 を扱っています。

当社は高品質の 光学システム、 マイクロオプティクス 、 ハイエンド対物レンズ を製造しています。当社の対物レンズを用いて半導体構造を正確に高い精度で検査することができます。新しい 波面測定システム により、複雑な露光と検査プロセス用のハイエンド対物レンズをコスト効率の高い方法で製造することができます。

製造およびシステムのパートナーとして、当社は、 専門的なサプライチェーンの管理を通してお客様をサポートします。これにより、お客様は数多くの部品を入手したり、サブシステムの形成のために統合したり、広範な検査をすることよりも、お客様の中核技術に専念することができます。

当社の 製造工程は絶えず監視され 改善されます。当社の目標は、半導体生産で微小な構造を実現しつつ、資源を節約し、工程を簡素化することにあります。